项目编号：Dlmu-FS-20240396
项目名称：氧化镓外延片采购
公示时间：2024年07月30日- 2024年08月02日
拟成交单位 ：天津市万德思诺国际贸易有限公司
采购预算：130000
采购内容：（001）HVPE外延 4寸氧化镓外延片，共两片 衬底主要参数指标： 晶向：（001），厚度：620±20 微米，衬底电阻0.007~0.042Ωcm 外延层主要参数指标： 导电类型：n type，浓度1e16±0.5e16cm-3，厚度10±4 微米 需原厂切割：一片切割成10×10mm，一片切割成8×8mm。 主要技术指标如下：氧化镓片 描述 | 参数值 | 单位 | 衬底层参数 | 衬底厚度 | 620±20 | μm | 电阻率 | 0.007~0.042 | Ω・cm | 半峰全宽 | 100轴 ≦350 | arcsec | 010轴 ≦350 | arcsec | 衬底晶向 | 001 | / | 正面抛光 | CMP | / | 背面抛光 | Grinding | / | 掺杂 | Sn | / | 外延层参数 | 载流子浓度 | 1±0.5E16 | / | 外延厚度 | 10±4 | μm | 掺杂 | Si＋Cl | / | 加工参数 | 精密切割 | 10×10 | mm | 精密切割 | 8×8 | mm |
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单一来源理由：本团队申请购买（001）HVPE外延 4寸氧化镓外延片。 现在全世界可以做正式产品只有日本NCT和美国Kyma两家，在做研发的有德国IKZ一家以及国内三家， 日本NCT公司是国际上最早从事氧化镓商业化销售的公司，也是目前国际上氧化镓品质做的最好的，此公司可提供产品（001）HVPE外延 2寸及4寸。 美国Kyma公司只能做出上述（010）衬底产品，其他的产品全都没有。 德国IKZ目前还在研究阶段，暂时还没产品推出。 国内山东大学晶体所，上海光机所、中电46所这3家研究单位主要从事氧化镓单晶材料的研究，但目前的研究进度还停留在100面。北京铭镓半导体目前可提供的产品只有100向及001向的小尺寸衬底片，外延片还在验证阶段。北京镓和半导体和杭州镓仁半导体目前只能提供小尺寸的衬底片，无外延片产品。 综上所述，国内外只有日本NCT公司能提供（001）HVPE外延 4寸氧化镓外延片产品，而天津市万德思诺国际贸易有限公司是其氧化镓外延片的独家代理。故拟采用校内单一来源采购方式采购。
论证小组成员：曹菲,宋延兴,包梦恬
有关单位或个人如对本项目采用校内单一来源采购方式有异议，应在公示期内以书面形式向开云手机在线登陆入口招投标与采购中心反映。
联系人：崔老师
联系电话：13352209224
国有资产与实验室管理处
招投标与采购中心
2024年07月30日
